AeroBar 5225

• Einfache, schnelle und präzise individuelle Emitter-Einstellung über Software (ohne mechanischen Eingriff in das System)
• Digitale Technolgie ermöglicht bidirektionale Kommunikation zwischen Ionisationseinheit und Prozess-Tool-Rechner
• Status- und Alarmmeldungen werden am Prozess-Tool-Rechner angezeigt
• Mit optionalem Sensor geschlossener Regelkreislauf
• Permanentes Monitoring der Ionisationsleistung und automatisches Nachregeln der Parameter (mit Sensoroption)
• Flexibel: Je nach Applikation / Tool-Design ist gepulster oder konstanter Gleichstrombetrieb möglich
• Ultra-reine Emitterspitzen aus einkristallinem Silizium
• Lieferbar in 8 verschiedenen Längen
• Einfachste Montage und Verkabelung
• Voller PMT-Service bei Inbetriebnahme und Wartung

Download Datenblatt siehe Kasten oben rechts